జర్నల్ ఆఫ్ థియరిటికల్ & కంప్యూటేషనల్ సైన్స్
అందరికి ప్రవేశం

నైరూప్య

N2 గ్యాస్ సెన్సార్ కోసం పోరస్ సిలికాన్ యొక్క ఎలక్ట్రికల్ ప్రాపర్టీస్

మహమూద్ బహర్, హమీదే ఎస్కందారి మరియు నఘీ షాబాన్

గ్యాస్ సెన్సింగ్ పరికరాల కోసం పోరస్ సిలికాన్ (PSi) అప్లికేషన్ గత దశాబ్దంలో గణనీయమైన దృష్టిని ఆకర్షించింది. ఈ పని ఎలక్ట్రోకెమికల్ ఎచింగ్ ద్వారా తయారు చేయబడిన PSi పొరల యొక్క విద్యుత్ లక్షణాలను పరిగణిస్తుంది. PSi ఉపరితలం యొక్క శోషణ లక్షణాల గురించి బాగా అర్థం చేసుకోవడానికి, PSi పదనిర్మాణం ఎచింగ్ పారామితులపై ఎలా ఆధారపడి ఉంటుందో తెలుసుకోవడం అవసరం అని మేము కనుగొన్నాము. హైడ్రోఫ్లోరిక్ యాసిడ్ ఏకాగ్రత, ప్రస్తుత సాంద్రత, యానోడైజింగ్ పొడవు మరియు యానోడైజింగ్ ప్రక్రియలో ఎచింగ్ సమయాన్ని మార్చడం ద్వారా PSi యొక్క భౌతిక నిర్మాణం, అనగా, సచ్ఛిద్రత మరియు రంధ్రాల పరిమాణ పంపిణీని నియంత్రించవచ్చు. మేము గ్యాస్ సెన్సార్‌ల కోసం మా టెస్ట్ సిస్టమ్‌ను వివరిస్తాము మరియు వివిధ ఫాబ్రికేషన్ పరిస్థితుల కోసం N2 గ్యాస్‌లోని PSi లేయర్‌ల (p-టైప్) యొక్క విద్యుత్ ప్రవర్తనపై దర్యాప్తు చేస్తాము. N2 వాయువు శోషించబడినందున ప్రస్తుత సాంద్రత గణనీయంగా పెరుగుతుందని ఫలితాలు చూపిస్తున్నాయి. IV లక్షణాల కొలతలు వాతావరణ పీడనం, గది ఉష్ణోగ్రత మరియు N2 వాయువుతో కూడా నిర్వహించబడ్డాయి.